HMDS涂胶机 HMDS烤箱 HMDS涂布设备 真萍科技

HMDS涂胶机 HMDS烤箱 HMDS涂布设备 真萍科技

一、产品概述：

  HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。

一、主要技术指标：

  1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为医用**不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

  2. 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

  3. 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

  4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。

  5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。

  6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。

  7. 低液报警装置，采用国际**的红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）

  8. 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）

  9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316医用**不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）

二、整机尺寸、真空腔体尺寸：

  1. 内胆尺寸：650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;

  2. 载物托架：2块

  3. 室温+10℃-250℃   控温范围：温度分辨率：0.1℃   温度波动度：±0.5℃

  4. 真空泵：油泵或无油真空泵。真空度：133pa，

  5. 加热方式：腔体下部及两侧加温。加热器为外置加热板（防止一侧加热使的HMDS液进入箱体内不能完本转成气态）

  6. 可放2寸晶圆片或4寸晶圆片；6寸晶圆片；8寸晶圆片等。

  7.开箱温度可以由user自行设定来降低process时间（正常工艺在50分钟-120分钟（按产品所需而定烘烤时间），为正常工作周期不含降温时间（因降温时间为 常规降温）。

真萍科技是专业的从事热处理设备、烘烤制程设备、环境与可靠性试验设备、半导体黄光区**设备，储存专业设备等产品专业供应商，由一批多年从事热工、真空,结构、半导体等行业的专业工程技术人员为**，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。